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熱処理装置(ウエハー焼成炉) | 中古装置

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熱処理装置(ウエハー焼成炉)

熱処理装置(ウエハー焼成炉)
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メーカー
ノリタケ
型式
SCPM-F0826RD
年式
2015
保管場所
カテゴリー
半導体
機械仕様
被加熱物 シリコンウエハー(単結晶、多結晶) ウエハーサイズ:125×125mm、156×156 搬送方式:ウォーキングビーム方式によるタクト搬送 炉内雰囲気温度:MAX950℃ MIN150℃ 大気
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