Warning: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable in /home/askindex/www/p81saint99/wp-content/themes/askindex2016_s/templates/template-stock-detail.php on line 88
ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 | 中古装置

お問合せ番号:K30040

ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置

ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル1
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル2
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル3
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル4
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル5
  • ロードロック式リアクティブイオンエッチング装置 サムネイル6
メーカー
サムコ
型式
RIE-200NL
年式
2008
保管場所
塩山
カテゴリー
半導体
機械仕様
到達真空度 10 -4Pa台(反応室) 真空保持 100Pa以下/15時間(反応室) 最大ウェハサイズ Φ8inch 高周波電源 30~300W(13.56MHz) 外形寸法 本体 W546 D153
添付ファイル

価格

お問合せ下さい