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プラズマCVD装置(DLC薄膜) | 中古装置

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プラズマCVD装置(DLC薄膜)

プラズマCVD装置(DLC薄膜)
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メーカー
サムコ
型式
PD-10M特
年式
-
保管場所
塩山
カテゴリー
半導体
機械仕様
反応室:φ394mm SUS304 上部電極:φ240mm シャワー方式のガス吹き出し口一体型 下部電極:qφ200mm フラットヒーター max500℃ 高周波電源:13.56MHz max2kW
添付ファイル
-

価格

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