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バッチ式カルーセルスパッタ装置 | 中古装置

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バッチ式カルーセルスパッタ装置

バッチ式カルーセルスパッタ装置
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メーカー
ANELVA アネルバ
型式
SPC530H
年式
1991
保管場所
九州
カテゴリー
半導体
機械仕様
【管理番号:HB1179】SPC530H アネルバ ターゲットサイズ:5インチ×15インチ×5T ターゲット数:3、基板サイズ:6インチ 基板取付可能枚数:6、スパッタ用電源:RF電源 基板加
添付ファイル
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価格

8,500,000円(税別)