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プラズマリアクタ― プラズマ処理装置 プラズマ装置 | 中古装置

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メーカー
ヤマトマテリアル
型式
PiPi
年式
2016
保管場所
塩山
カテゴリー
半導体
機械仕様
プラズマ方式:RIE 発振周波数:13.56MHz ステージ寸法W130 D130mm チャンバ寸法:W230 D230 H100 出力:50~200W入力:AC100V 50/60Hz 15A
添付ファイル
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価格

2,800,000円(税別)